技術パラメータ：

Ø 欠陥最大検出口径300X200mm（上書き8寸法ウエハ、カスタマイズ可能12寸法ウェハテーブル）

Ø 欠陥検出の解像度が最も高い0.5um

Ø 欠陥検出タイプ：麻点、スクラッチ、テクスチャ、異色、破辺など

Ø 自動欠陥認識及び寸法測定

Ø 手動上下錠、半自動と自動上下錠の開発をサポートする

Ø 技術的特徴

Ø マルチモードイメージングにより、さまざまなタイプの欠陥を検出できるようにする

Ø に従って20/10、40/20、60/40標準欠陥の測定判定

Ø ハードウェアとソフトウェアは実際のサンプル検査のニーズに応じてカスタマイズすることができる

基板の三次元反りを検出する機能を追加することができる

◆測定例

麻点とスクラッチ 表面テクスチャ